Печи серии 3800/4300

Печи Серии 3800/4300 для химического осаждения из газовой фазы и инфильтрации


Удаление очистки графита или графитизации при температурах до 2900°C

Высокотемпературные вакуумные печи Centorr/Vacuum Industries для реализации процесса парофазного осаждения способны обеспечить постоянные условия для получения материалов, реакции в которых протекают при температурах до 2200°C.

Серия печей ультравысокотемпературных печей предназначена для удаления очистки графита или графитизации при температурах до 2900°C. Работа может протекать в вакууме, инертной среде или хлоре.

Печи представляют собой полностью готовые системы, которые позволяют осуществлять подачу исходного сырья, контроль всех условий протекания реакции и безопасный и эффективный сбор отработанных газов.

Основные особенности:

  • Графитовые нагревательные элементы, устойчивые к жестким условиям процесса осаждения из газовой фазы
  • Работа при температурах до 2900deg;C с использованием индукционного нагрева
  • Контроль процесса парофазного осаждения с помощью программного обеспечения Intellution™ FIX32 HMI, которое обеспечивает сохранение параметров протекания реакции и удаленный доступ к процессу

Технические характеристики стандартных моделей:

  Горизонтальное расположение рабочей зоны Вертикальное расположение рабочей зоны
Стандартные модели 8820 161636 84120 1824 2436
Размер зоны нагрева,
ШхВхГ или ДхВ, мм
200x200x500 400x400x914 2133x3050 460x610 610x914
Объем загрузки, л 21 150 10 900 100 270
Источник питания, кВА 45 275 750 150 450
Охлаждение печи,
л/мин
26 163 473 114 246

Печи Серии 3800/4300 для химического осаждения из газовой фазы и инфильтрации