Чистота рабочего газа, использующего в различных технологических процессах, является, наряду с температурой и временем выдержки, одним из определяющих качество конечного продукта, параметров. Во всех печах, производимых Centorr/Vacuum Industries мы рекомендуем использовать системы чистки и анализаторы содержания кислорода для технологического газа. Обычно, концентрация кислорода в инертном газе, поступающем из баллонов или хранилищ, достигает значений порядка 5 - 10 частиц на миллион. Использование системы очистки газа помогает в несколько раз снизить содержание кислорода в рабочем газе. Наши системы используются как с лабораторными печами, так и с промышленными установками.
Для непрерывного наблюдения за уровнем содержания кислорода в рабочем газе мы используем электрохимическую ячейку, на основе стабилизированного диоксида циркония (ZrO2 ). Подвижность кислорода в ячейке ZrO2 высокая при температуре порядка 800°С. Это позволяет ионам кислорода проходить через ZrO2 . Данное перемещение ионов кислорода приводит к возникновению разницы потенциалов между двумя электродами. Разность потенциалов возрастает прямо пропорционально отношению концентрации кислорода внутри и снаружи ячейки. Сигнал в измерительной ячейке преобразуется в значение частиц на миллион и отображается на дисплее системы очистки газа. ZrО2 является наиболее точным материалом для определения концентрации кислорода в газах. Отличительной чертой является то, что сенсор не меняет своих характеристик в течение длительного времени использования.
Процесс очистки аргона и гелий осуществляется за счет поглощения примесей ионами активных металлов, таких, как титан или медь. Титановая или медная стружки помещены в вакуум-плотные контейнеры из нержавеющей стали. При прохождении газа через титан, удаляются кислород, азот, углерод и пары воды. После очистки можно получить газ чистотой до 1x10-10 частиц на миллион, при исходной концентрации кислорода 2-10 частиц на миллион. Система очистки позволяет провести чистку порядка 300 газовых баллонов.
Исполнение |
Анализатор кислорода |
Анализатор кислорода + система очистки |
Система очистки газа |
||||
Модель |
2D |
2A-100-SS |
2H-200-SS |
2B-20-Q |
2G-100-SS |
2F-200-SS |
|
Вес, кг |
6,25 |
26,3 |
45,4 |
6,8 |
26,3 |
45,4 |
|
Габаритные размеры, см |
28 x 21 x 28 |
53 x 33 x 56 |
64 x 97 x 76 |
22 x 24 x 33 |
53 x 33 х 56 |
64 x 97 x 76 |
|
Питание |
220 В / 50 Гц / 1Ф |
||||||
Мощность, Вт |
300 |
1400 |
2800 |
600 |
1400 |
2800 |
|
Соединение |
Обжимной стальной фитинг диаметром 6,4 мм |
||||||
Тип датчика |
Диоксид циркония |
|
|||||
Рабочий диапазон, ppm |
1x10-15 to 2x105 |
||||||
Время отклика, сек |
50 |
||||||
Скорость потока, л/мин |
0,8 - 1 |
||||||
Система очистки |
|||||||
Температура печи, °C |
600-800 |
||||||
Очистка до значений, ppm |
- |
1 x 10-6 |
|||||
Поток, л/мин Аргон Гелий Азот Водород |
|
40 120 40 30 |
70 210 70 50 |
10 30 10 7,5 |
40 120 40 20 |
70 210 70 50 |
Модель 2D – стандартная модель. Может использоваться, как портативная модель или установлена не посредственно в печь.
Модель 2B – Компактная установка с небольшим количество геттера. Оптимальная производительность достигается при скорости потока 10 л/мин аргона и азота или 30 л/мин гелия.
Модель 2G – Установка со средним содержание геттера. Оптимальная производительность достигается при скорости потока до 40 л/мин аргона и азота. До 120 л/мин гелия или 20 л/мин водорода и кислорода.
Модель 2F – Установка с большой производительностью. Оптимальная производительность достигается при скорости потока до 70 л/мин аргона и азота. До 210 л/мин гелия или 50 л/мин водорода.
Модель 2A – В данной установке в одном корпусе объединены анализатор кислорода с системой очистки газа. Оптимальная производительность достигается при скорости потока до 40 л/мин аргона и азота или при 120 л/мин гелия. Поскольку модель объединена с анализатором кислорода, она не может быть использована для очистки водорода.
Модель 2H – Система также содержит в составе анализатор кислорода. Оптимальная производительность достигается при скорости потока до 70 л/мин аргона и азота или при 210 л/мин гелия.
Системы очистки инертных газов и контроля содержания уровня кислорода